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Oct 16, 2023

Nikon lanza la NSR

Admite una variedad de dispositivos semiconductores y puede complementar o reemplazar los motores paso a paso existentes 31 de agosto de 2023 TOKIO: Nikon Corporation se complace en anunciar el lanzamiento del NSR-2205iL1 con reducción de 5x

Admite una variedad de dispositivos semiconductores y puede complementar o reemplazar los motores paso a paso existentes

31 de agosto de 2023

TOKIO - Nikon Corporation se complace en anunciar el lanzamiento del motor paso a paso i-line con reducción de 5x NSR-2205iL1, que se utilizará para fabricar una variedad de dispositivos como semiconductores de potencia y comunicaciones y MEMS, y es totalmente compatible con los sistemas Nikon i-line existentes. Sistemas de exposición de líneas. El 2205iL1 ofrece una excelente asequibilidad y permitirá una producción optimizada de diversos dispositivos semiconductores independientemente del material de la oblea. El NSR-2205iL1 representa la renovación más significativa de la tecnología paso a paso 5x de Nikon en los últimos veinticinco años, y el desarrollo del sistema fue una respuesta directa a la demanda de los clientes de estos sistemas de litografía que desempeñan un papel tan esencial en la fabricación de chips.

A medida que los vehículos eléctricos, las comunicaciones de alta velocidad y diversos dispositivos de TI se vuelven más frecuentes, la demanda de semiconductores para respaldarlos está creciendo exponencialmente. Estos semiconductores deben realizar una variedad de funciones desafiantes y, como resultado, los fabricantes de dispositivos requieren sustratos y sistemas de exposición especializados para fabricar esos chips. Nikon a menudo satisface estos requisitos del sistema de litografía a través de medios como la restauración de motores paso a paso de propiedad anterior. Sin embargo, el suministro de motores paso a paso reacondicionados puede ser limitado y puede no ser suficiente para satisfacer las demandas de los clientes. Por lo tanto, para brindar soluciones adicionales de equipos de exposición flexible, Nikon está lanzando un nuevo paso a paso i-line 5x que aprovecha el conocimiento obtenido trabajando en estrecha colaboración con los clientes para brindarles soluciones especializadas para satisfacer la demanda del mercado, así como abordar el paso a paso limitado y obsoleto. suministro. Además de ampliar varias opciones para abordar las diversas necesidades de los clientes, este paso a paso i-line recientemente desarrollado también respaldará la producción de dispositivos a largo plazo.

El NSR-2205iL1 ofrecerá una alta productividad y al mismo tiempo optimizará el nivel de rendimiento para una variedad de procesos de fabricación de semiconductores a través de medición de obleas de alta precisión utilizando enfoque automático (AF) multipunto, nivelación avanzada de la etapa de oblea*1 y amplio DOF (rango de profundidad de enfoque ampliado). entre otros beneficios. Además, es muy adecuado para una variedad de aplicaciones debido a su compatibilidad con el grosor y el tamaño de la oblea, su alta tolerancia a la deformación de la oblea y sus capacidades flexibles que incluyen, entre otras, la compatibilidad con el procesamiento de SiC (carburo de silicio) y GaN (nitruro de galio). El paso a paso NSR-2205iL1 i-line ofrecerá una excelente asequibilidad y al mismo tiempo satisfará los diversos requisitos de los fabricantes de chips.

Los clientes que tengan sistemas de exposición Nikon i-line en su fábrica pueden continuar utilizando los activos y operaciones que ya existen, como fotomáscaras y recetas de exposición de obleas. Además de ser compatible con las operaciones de fábrica existentes, el 2205iL1 puede complementar o reemplazar los motores paso a paso existentes que ya no cumplen con los requisitos de fabricación.

El NSR-2205iL1 se puede utilizar con confianza durante un período prolongado porque su diseño utiliza componentes de uso general disponibles comercialmente, lo que facilita más que nunca la adquisición de piezas y proporciona una solución de litografía más sostenible para el futuro.

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